測量范圍:0 - 2000μm。
測量誤差:鐵基,0 - 75μm 為 ±1.5μm,75 - 1000μm 為 ±2%,1000 - 2000μm 為≤3%;非鐵基,0 - 50μm 為 ±1μm,50 - 1000μm 為 ±2%,1000 - 2000μm 為≤3%。
重復精度:鐵基,0 - 50μm 為≤0.25μm,50 - 2000μm 為≤0.5%;非鐵基,0 - 100μm 為≤0.5μm,100 - 2000μm 為≤0.5%。
最小測量面:標準測量面為 Φ4mm,允許誤差<10% 時,最小測量面可達 Φ2mm。
最小曲率:精度范圍內,鐵基最小曲率達 Φ35mm,非鐵基為 Φ50mm;允許誤差<10% 時,鐵基和非鐵基最小曲率分別優化至 Φ10mm 與 Φ2mm。
最薄基體:鐵基為 0.2mm(f),非鐵基為 90μm(n)。
工作溫度:操作溫度為 5 - 40°C,儲存溫度為 5 - 60°C。