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泰勒霍普森PGI輪廓儀信息

更新時間:2026-01-19      瀏覽次數:464

泰勒霍普森PGI輪廓儀采用相位光柵干涉測量技術(PGI),結合高穩定性機械結構與精密光學系統,實現非接觸或接觸式表面形貌的納米級測量。其垂直分辨率達0.1納米,水平分辨率優于0.1微米,專為超光滑表面(如光學鏡片、半導體晶圓)設計,同時滿足粗糙度(Ra、Rz等)與宏觀輪廓(曲率半徑、傾角、臺階高度)的測量需求。

PGI系列的核心優勢在于多功能一體化平臺,支持表面粗糙度參數(ISO 4287/21920標準)、輪廓形狀分析(球面、非球面、自由曲面)、臺階高度與薄膜厚度測量,以及波紋度與形狀誤差評估。配套專業分析軟件提供直觀的3D/2D可視化界面,支持自動報告生成、數據比對及SPC統計過程控制,符合ISO/GPS標準的數據輸出。


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