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ZYGO新一代激光干涉儀
產品型號：VeriFire干涉儀廠商性質：代理商更新時間：2020-09-11訪 問 量：8122
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ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀，繼承了工業標準GPI™激光干涉儀系列的所有優點，融合了機械相移技術、創造性的數據采集技術、高性能的光電成像系統、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等，是ZYGO技術的集中體現。 所有VeriFire™系列產品都能提供標準的干涉測量，每種型號均具有特殊的應用。Verif ire"系統真正的斐索型激光光路設計延續了zYG0在面形計量行業*與倫比的經驗。共光路的設計結合ZYG0**的采集算法，和功能*的批軟件實現了高精度的表面計量與良好的分析能力。
? 斐索型共光路系統保證精密測量
? 友好的圖形用戶界面，易于生產線上操作
? 創新箅法使其在振動環境中也能實現準確計量
? 利用良好的過程控制技術，快速提取測試中不變的信息
? 每一幀數據都將振動信息凍結
所有 Verifire™ 系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用,列于下表:
| 型號: | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
| 核心技術: | 相位移式干涉儀 (PSI) | 傅立葉轉換相位移 式干涉儀 | **非球面演算 法相位移式干涉儀 | ||
| 光源: | 點光源 | 點光源和 Ring of Fire™環形光源(波紋抑制) | |||
| 變焦: | 自動 1-6X | 數位控制 1-5X | |||
| 聚焦: | 自動 | 數控步進焦距控制 | |||
| 解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
| 幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz | ||
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集成大量常用測量程序模塊? 多個樣品的同時分析? 球面曲率半徑的測量 ? 角錐和棱鏡測量 ? 雙球面和三平板的測量 ? 相對角度和楔板楔角的測量 ? 材料均勻性的測量 ? 傅立葉變換移相干涉測量(MST型) ? 動態設備如MEMS的測量 ? 薄膜上下層形貌和厚度的測量 ? 金屬零件的測量
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簡單的定制過程，用戶可調? 設定數控采集和數據處理過程中的各種參數? 選擇需要顯示的圖像曲線和數據結果 ? 幾百種符合工業標準的數據可供選擇 ? 自定義屏幕上各種窗口的編排 ? 保存和輸出每個樣品參數測量.分析設定數據結果 ? 適用于工業化生產的軟件 ? 質量控制--自動顯示”合格/不合格” ? 編程功能--儀器自動按用戶所編程序模式運行.產生相應的信息 ? 根據用戶定義的計算公式，產生相應的結果 ? 實時屏現SPC ? 自動數據保存和統計 ? 應用程序”鎖定“功能
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*的數據分析功能? 數據濾波和剪輯? 像差計算 ? PSF和MTF圖 ? 斜率圖/功率譜密度/環繞能 ? ASCII和"XYZ"數據格式 ? Zernike分析 ? 數據和圖像加減、縮放、旋轉和轉換 ? ZEMAX、CodeV和0SL0數據格式
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| 測量功能 | 精密測量各種反射面和光學系統的表面面形、精密測量光學系統的傳輸波前 |
| 測量技術 | QPSI快速機械相移模式和傳統的機械相移干涉模式（PSI） |
| 校準系統 | 快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
| 測量光束直徑 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對準視場范圍FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學中心線 | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率穩頻氦-氖激光，III* |
| 波長 | 633 nm |
| 頻率穩定度 | < 0.0001 nm |
| 相干長度 | ＞100m |
| 成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
| 幀速 | 100Hz（PSI） |
| 數據采集時間 | 130-300ms |
| 數據模式 | 8位 |
| 放大 | 電控1-5X |
| 偏振 | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調焦范圍 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計算機和軟件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構造 | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463 |
| 尺寸(長x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
| 溫度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率 | ＜1.0°C/15min |
| 濕度 | 相對濕度5% - 95% , 無凝結 |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超過150nm的震動環境下進行測量；機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統。 |
| RMS重復性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
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